《精密和超精密加工在位检测与误差分离技术》重点介绍精密和超精密机床在位检测与误差分离技术，全书分为六章。主要介绍了电容传感器、电感传感器、基于同心圆光栅莫尔条纹图像处理的二自由度误差测量系统和大量程纳米级光栅位移测量系统等四种测量仪器基本原理和改进措施。介绍了超精密加工中无误差重构的直线度测量及运动误差分离方法，圆度、圆柱度和平面度测量及运动误差分离方法与实验。最后还介绍了基于李群李代数的形位公差统一模型与评定方法。