本书在系统讲述了MEMS的发展历史过程，主要设计方法和生产工艺之后，重点介绍了在微波、毫米波乃至亚毫米波频段，如何对MEMS中的三种基本结构形式一基础薄膜、基础桥和基础悬臂进行设计和制造；详细介绍了它们在射频开关、电感及可变电容、滤波器、移相器、微波传输线以及微机械天线中的应用。本书选用了近10年来发表的600余篇参考文献，全面反映了MEMS，RF MEMS在设计技术，制造技术和材料研制上的最新动态和成果。可以说，“RF MEMS AND THEIR APPLICAION”是一本内容新颖、全面，具有很高实用价值的参考书。