《普通高等教育"十一五"国家级规划教材•微纳检测技术》系统地介绍了微纳检测领域常用的技术、方法及系统（仪器）。《普通高等教育"十一五"国家级规划教材•微纳检测技术》共分8章，分别为微纳检测技术基础、光学干涉测试技术、微纳形貌检测技术、扫描探针显微镜、扫描电子显微镜、微纳坐标测量技术、微视觉测试技术和全息干涉技术。