题名:光学投影曝光微纳加工技术
作者:姚汉民, 胡松, 邢廷文著
出版年:2006
ISBN: 7-5639-1669-5
分类号: TH761
中图分类: 测绘仪器
定价: 46.00元
页数: 285 页
出版社: 北工大

本书系统介绍主流光刻技术——光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用和发展前景，详细介绍投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工件台、分辨力增强技术以及整机集成。