题名:声表面波材料与器件
作者:潘峰等编著
出版年:2012
ISBN: 978-7-03-033955-3
分类号: TN65
中图分类: 声光器件
定价: 98.00元
页数: 399 页

《现代声学科学与技术丛书:声表面波材料与器件》是作者十余年工作的积累,是在获得2007年国家技术发明奖和2009年国家科技进步奖的基础上总结完成的。《声表面波材料与器件》系统地介绍各类声表面波器件用压电材料和叉指换能器材料,各类声表面波器件设计及声表面波器件的制备工艺。形成一条从声表面波器件的材料选择,器件设计到工艺制备的主线。<br />《现代声学科学与技术丛书:声表面波材料与器件》共6章。第1章介绍声表面波技术的原理与发展历程、声表面波器件的特点与应用。第2章介绍声表面波器件用的各类压电材料压电单晶、压电陶瓷以及压电薄膜的制备、性能与特点,重点介绍氧化锌压电薄膜材料制备与改性。第3章阐述叉指换能器的设计理论与叉指换能器材料。第4章介绍多层薄膜声表面波器件的理论设计和具体实例。第5章介绍声表面波滤波器、延迟线、谐振器和传感器的特点与设计。第6章介绍声表面波器件的制备工艺及其表征方法。