题名:芯片制造 : 半导体工艺制程实用教程 : a practical guide to semiconductor pro
作者:(美) Peter Van Zant著
出版年:2015
ISBN: 978-7-121-24336-3
分类号: TN305
中图分类: 半导体器件制造工艺及设备
译者: 韩郑生
定价: 59.00元
页数: 376 页
出版社: 电子工业出版社
装订: 平装

本书是一本介绍半导体集成电路和器件制造技术的专业书籍, 在半导体领域享有很高的声誉。本书的讨论范围包括半导体工艺的每个阶段: 从原材料的制备到封装、 测试和成品运输, 以及传统的和现代的工艺。全书提供了详细的插图和实例, 每章包含回顾总结和习题, 并辅以丰富的术语表。第六版修订了微芯片制造领域的新进展, 讨论了用于图形化、 掺杂和薄膜步骤的先进工艺和尖端技术, 使隐含在复杂的现代半导体制造材料与工艺中的物理、 化学和电子的基础信息更易理解。本书的主要特点是避开了复杂的数学问题介绍工艺技术内容, 并加入了半导体业界的新成果, 可以使读者了解工艺技术发展的趋势。

Peter Van Zant 国际知名半导体专家,具有广阔的工艺工程、培训、咨询和写作方面的背景。他曾先后在IBM和德州仪器(TI)工作,之后在硅谷,又先后在美国国家半导体(National Semiconductor)和单片存储器(Monolithic Memories)公司任晶圆制造工艺工程和管理职位。他还曾在加利福尼亚州洛杉矶的山麓学院(Foothill College)任讲师,讲授半导体课程和针对初始工艺工程师的高级课程。