微机电系统技术，是在20世纪80年代后期国际上兴起的一项高新技术。本书先由微机电系统入手，然后介绍微弱信号检测的一些背景知识，重点阐述了微弱信号检测的方法与技术，以及针对微器件不同的检测方式，详述其检测原理与检测方法，最后选取典型的微器件介绍了其微弱信号检测的实用电路。　　本书内容翔实，理论联系实际，可操作性强，既可作为涉及电子噪声、低噪声设计、电磁兼容性、微弱信号检测的工程技术人员参考读物，又可作为微电子、自动化、电子工程、物理、生物医学工程、测试技术与仪器等专业的研究生和高年级本科生教材。