题名:超大规模集成电路 : 基础·设计·制造工艺
作者:(日) 岩田穆, 角南英夫著
出版年:2008
ISBN: 978-7-03-020278-9
分类号: TN47
中图分类: 大规模集成电路、超大规模集成电路
译者: 彭军
定价: 42.00元
页数: 309 页
出版社: 科学
作者:(日) 岩田穆, 角南英夫著
出版年:2008
ISBN: 978-7-03-020278-9
分类号: TN47
中图分类: 大规模集成电路、超大规模集成电路
译者: 彭军
定价: 42.00元
页数: 309 页
出版社: 科学
《超大规模集成电路:基础•设计•制造工艺》共分为上下两篇，上篇为基础设计篇，主要介绍VLSI的特征及作用、VLSI的设计、逻辑电路、逻辑VLSI、半导体存储器、模拟VLSI、VLSI的设计法与构成法、VLSI的实验等；下篇为制造工艺篇，主要介绍集成工艺、平板印刷、刻蚀、氧化、不纯物导入、绝缘膜堆积、电极与配线等。