题名:微传感器设计、制造与应用
作者:刘广玉编著
出版年:2008
ISBN: 978-7-81124-199-0
分类号: TP212
中图分类: 发送器(变换器)、传感器
定价: 23.00元
页数: 218 页
出版社: 7-81124

《高等院校通用教材·微传感器设计、制造与应用》主要内容是,对基于压阻效应、电容效应、机械谐振效应、光电效应、电子隧道效应和原子力效应的多种微传感器和智能微传感器的物理机理 、材料、设计、制造、应用和发展进行了深入系统的讨论,包括对压力、加速度、角速度、纳米尺度和图像生成等的测量与性能分析。全书内容丰富,重理论也重应用,各章后配有思考题。 <br />《高等院校通用教材·微传感器设计、制造与应用》适合用作高等学校相关专业微机械传感器课程的教材,也可供从事微机械传感器研究的工程技术人员参考。