芯片制造 : 半导体工艺制程实用教程 : a practical guide to semiconductor pro
(美) Peter Van Zant著
2015年

真空镀膜原理与技术
方应翠主编
2014年

半导体工艺和器件仿真软件Silvaco TCAD实用教程
唐龙谷编著
2014年

半导体制造技术导论
(美) 萧宏著
2013年

半导体晶片清洗 : 科学、技术与应用 : science, technology, and applications
(美) Werner Kern主编
2012年

芯片制造 : 半导体工艺制程实用教程 : a practical guide to semiconductor pro
(美) Peter Van Zant著
2010年

半导体制造与过程控制基础
(美) Gary S. May, (美) Costas J. Spanos著
2009年

真空镀膜技术
张以忱等编著
2009年

硅片加工技术
张厥宗编著
2009年

真空镀膜设备
张以忱编著
2009年