题名:MEMS/MOEMS封装技术 : 概念、设计、材料及工艺 : concepts, designs, materials
作者:(美) 肯·吉列奥著
出版年:2008
ISBN: 978-7-122-01518-1
分类号: TN405
中图分类: 制造工艺
译者: 中国电子学会电子封装专委会
定价: 48.00元
页数: 236 页
出版社: 7-122

《MEMS/MOEMS封装技术:概念、设计、材料及工艺》是国际上较系统全面阐述MEMS/MOEMS封装的著作,作者是微电子封装界的知名专家、美国表面组装协会的董事。《MEMS/MOEMS封装技术:概念、设计、材料及工艺》主要介绍MEMS/MOEMS封装技术的最新进展,以及工艺的共性、个性和可靠性。针对高成本的封装,《MEMS/MOEMS封装技术:概念、设计、材料及工艺》给出了全面的解决方案,内容全面、系统、新颖。<br />微电子机械系统(MEMS)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。它具有微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产等特点。微光电子机械系统(MOEMS)是一种将MEMS技术引进到光电子中的新应用。近几年,MEMS/MOEMS技术的迅速发展使其在汽车、医疗、通信及其他消费类电子产品中获得了广泛的应用。但影响MEMS/MOEMS技术飞速发展的关键,就是封装技术。